Analyse des gaz
Analyse de gaz résiduels
Les spectromètres de masse de la marque Hiden Analytical permettent d’analyser les gaz et les vapeurs dans des procédés et chambres sous vide.
RGA Series : système pour l'examen des composants présents dans un récipient ou issus d'un procédé
- Options de gamme de masse : 50, 100, 200, 300, ou 510 amu
- Les options de détecteurs offrent une sensibilité allant du vide poussé à l’ultravide, UHV
- Stabilité (moins de ±0.5% de variation de hauteur sur 24 h)
- Contrôle du MASsoft via RS232, USB ou plusieurs systèmes via Ethernet LAN
- Accès rapide à l’histogramme, à l’analyse des tendances et à l’affichage des pics analogiques
- Balayage en mode mixte, par ex. analyse de tendance, histogramme et pics analogiques dans plusieurs fenêtres
- Affichage simultané en temps réel des données d’analyse de tendance sous forme graphique et tabulaire
- Curseur pour l’identification de la hauteur des pics sous le contrôle de la souris
- Soustraction du bruit de fond en temps réel, alignement automatique de l’échelle de masse
- Possibilité d’exporter les données au format ASCII et vers tous les périphériques Windows
- netMASsoft, un serveur Web embarqué pour le fonctionnement du RGA à partir de votre navigateur Web
HALO RGA : pour l'analyse des gaz résiduels
- Options de gamme de masse : 100, 200 et 300 amu
- Accès rapide à l’histogramme, à l’analyse des tendances et aux pics analogiques
- Balayage en mode mixte, analyse des tendances, histogramme et pics analogiques dans un affichage multi-fenêtre par exemple
- Identification des espèces sous vide avec analyse automatisée
- Affichage simultané en temps réel des données d’analyse de tendance sous forme de graphique et de tableau
- Acquisition de données à partir de plusieurs systèmes via Ethernet
- Bibliothèque intégrée de spectres de masse avec des possibilités d’édition complètes
- Possibilité d’exporter les données au format ASCII
HMT : système RGA bimode pour le diagnostic du vide et la surveillance des processus
- Mode HMT pour un fonctionnement à haute pression jusqu’à 5×10-3 mbar (pression partielle détectable min. 5×10-8 mbar)
- Mode RGA pour un fonctionnement à haute sensibilité à P < 10-4 mbar (pression partielle détectable min 2 x 10-11 mbar)
- Gamme de masse de 100 amu, interface de contrôle à distance (PC) via le logiciel MASsoft Professional PC
- Stabilité (moins de ±1% de variation de hauteur sur 24 h)
- Contrôle par le logiciel MASsoft via RS232, USB ou plusieurs systèmes via Ethernet LAN
- Accès rapide, balayage en mode mixte Trend et Analogique dans plusieurs fenêtres par exemple
- Affichage simultané en temps réel des données d’analyse de tendance sous forme graphique et tabulaire
- Curseur pour l’identification de la hauteur des pics sous le contrôle de la souris
- Soustraction du bruit de fond en temps réel, alignement automatique de l’échelle de masse
- Facilité d’exportation des données au format ASCII et vers tous les périphériques Windows
- Fonction d’échange dynamique de données pour le transfert de données en temps réel vers d’autres applications Windows™ compatibles avec le client DDE, par exemple Excel, le logiciel de contrôle statistique de processus SPC-IV
Ion Source Options : gamme d'options de sources d'ions pour l'analyse des gaz résiduels
- Le matériau standard du filament est l’iridium revêtu d’oxyde
- Autres matériaux disponibles sur demande
- Les options de source d’ions sont interchangeables
- Sources ouvertes et fermées disponibles
- Gamme de sources à faisceau croisé disponible
- Options de profil standard et bas disponibles
HAL 101X RC : système pour la recherche sur la fusion tokamak/torus avec montage d'un analyseur à distance jusqu'à 80m de l'électronique sensible
- Accès rapide à l’affichage des histogrammes, de l’analyse des tendances et des pics analogiques
- Fichiers modèles pour l’analyse des hydrocarbures complexes et des hydrocarbures deutérés
- Analyse quantitative He/D2
- Affichage simultané en temps réel des données d’analyse de tendance sous forme de graphiques et de tableaux
- Acquisition de données à partir de plusieurs systèmes via Ethernet
- Alignement automatique des échelles de masse
- Bibliothèque intégrée de spectres de masse avec des possibilités d’édition complètes
- Fonctionnement de l’analyseur quadripolaire à des distances allant jusqu’à 80 m de l’électronique sensible
HAL 201 RC : analyseur de gaz résiduels configuré pour les applications UHV exigeantes
- Sources d’ions plaquées or pour minimiser le dégazage de la source
- Ioniseur à impact électronique avec filament d’iridium revêtu d’oxyde double
- Double détecteur multiplieur d’électrons Faraday/channeltron
- Pression partielle minimale détectable de 5 x 10-14 mbar
- Pression de fonctionnement maximale de 1 x 10-4 mbar
HALO 201 MBE : système d'analyse des gaz pour les applications d'épitaxie par faisceau moléculaire
- Câblage en molybdène à la place du câblage en cuivre pour améliorer la durée de vie du système RGA dans les environnements MBE
- Enveloppe de la source d’ions résistant à la contamination
- Double multiplicateur d’électrons Faraday/plaque à canaux
- Pression partielle minimale détectable de 2 x 10-13 mbar
- Option d’extension thermique pour le fonctionnement du RGA pendant l’étuvage
XBS : système pour la surveillance de sources multiples dans les applications de dépôt MBE
- Haute sensibilité, détection améliorée de 100% à 5ppb, gamme de masse jusqu’à 510 amu
- Stabilité à long terme améliorée (moins de ±0,5% de variation de hauteur sur 24 h)
- Source d’ions transversale, acceptation du faisceau sur +/- 35° par rapport à l’axe transversal
- Contrôle de la source d’ions pour l’ionisation douce et la spectrométrie de masse à potentiel d’apparition
- Sensibilité améliorée pour une transmission de masse élevée, alignement automatique de l’échelle de masse
- Ouverture d’acceptation du faisceau de 2 mm – configurée en fonction de l’application spécifique de l’utilisateur
- Résistance améliorée à la contamination grâce à l’étage de pré-filtrage exclusivement RF
- Enveloppe intégrée, compatible UHV, refroidie à l’eau
- Limites de détection jusqu’à 30 ions/seconde dans les études par faisceau moléculaire
- Contrôle des taux de croissance de 1Å/minute et moins
- Contrôle MASsoft basé sur Windows™ via RS232, USB ou Ethernet LAN
3F-PIC / 1000 Series PIC : système d'analyse de gaz spécialisé pour les études UHV à événement rapide
- Source d’ions à profil bas
- Acquisition rapide des données
- 500 points de données par seconde
- Large gamme dynamique
- Échelle logarithmique continue sur 7 décades
- Entrée de déclenchement pour les études de gaz pulsés jusqu’à une résolution de déclenchement de 100 nanosecondes
3F Series / 1000 Series RGA : système d'analyse des gaz résiduels pour des analyses de haute précision scientifiques et de processus
- Gamme de masse 50, 300, 510, 1000 amu, pôles en molybdène de 6 mm et 9 mm
- Résolution de masse accrue, transmission de masse élevée et stabilité des ions
- Contrôle complet de l’énergie des électrons de 0 à 150 eV pour le mode d’analyse complémentaire TIMS
- Disponible avec détection SEM ou PIC ou modèles optionnels à double Faraday/SEM ou Faraday/PIC
IDP / IDP 1000 Series : système pour l'analyse des ions, des neutres et des radicaux dans les études de désorption UHV
- Détecteur de comptage d’ions par impulsions avec présentation continue des données sur sept décades
- Observation directe de la masse et des rendements des ions positifs/négatifs, des radicaux et des neutres
- Optique ionique à 4 lentilles avec ioniseur d’électrons intégré et enveloppe compatible UHV
- Distribution de l’énergie ionique par balayage du potentiel sur l’axe central ±100 V, option 1000 eV
- Quadripôle triple filtre haute sensibilité, options de gamme de masse jusqu’à 5000 amu
- Transmission du signal avec une résolution de 100 nanosecondes pour les distributions d’énergie et de masse en fonction du temps ou les études TOF
- Lecture de la température intégrée dans l’affichage des données pour les applications de désorption thermique
- Stabilité (moins de ±0,5% de variation de hauteur sur 24h)
- Commande MASsoft via RS232, USB ou Ethernet LAN
EPIC / EPIC 1000 Series : système pour l'analyse UHV des neutres, des radicaux et des ions
- Options de gamme de masse jusqu’à 5000 amu, options de diamètre de pôle de 6 ou 9 mm
- Stabilité à long terme améliorée (moins de ±0,5% de variation de hauteur sur 24 h)
- Distribution de l’énergie ionique par balayage du potentiel sur l’axe central ±100 V, option 1000 eV
- Contrôle de la source d’ions pour la spectrométrie de masse par ionisation douce et potentiel d’apparition
- Sensibilité accrue pour une transmission de masse élevée, alignement automatique de l’échelle de masse
- Compteur d’ions à impulsions pour une gamme dynamique continue de 1 : 107 c/s sur dix ans
- Gamme dynamique étendue jusqu’à 5×1010 c/s avec l’option Faraday
- Résistance améliorée à la contamination grâce à l’étage de pré-filtrage exclusivement RF
- Signal gating avec une résolution de 100 nanosecondes pour les distributions d’énergie et de masse en fonction du temps ou les études TOF
- Lecture de la température intégrée dans les écrans de données pour les applications de désorption thermique
- Enveloppe intégrée compatible UHV, enveloppe refroidie à l’azote liquide en option
- Commande MASsoft via RS232, USB ou Ethernet LAN
- Possibilité de mise à niveau vers les spécifications Plasma / SIMS
DLS-1 : analyseur quadripolaire de gaz résiduels pour la recherche sur la fusion
- Analyse quantitative des gaz en temps réel dans une gamme de masse de 1-200 amu
- Niveaux de détection inférieurs au PPM
- Le DLS-1 fonctionne à la fois en mode d’analyse de masse classique et en mode TIMS
- Résolution de l’énergie électronique de 0,5 eV sur la gamme 0-150 eV
- Solution multi-unités à faible coût avec des solutions de protection contre les rayonnements et le magnétisme
DLS-10 : spectromètre de masse quadripolaire à ultra-haute résolution
- Spectromètre de masse à triple filtre fonctionnant en zone H
- Gamme de masse 1- 10 amu
- Sensibilité à l’abondance ultra élevée
- Résolution réglable de l’unité de masse à 0,006 AMU- FWHM
- La combinaison d’un filtre de masse de précision micronique à diamètre de pôle de 6 mm et de la haute fréquence RF à faible gamme de masse est idéale pour l’analyse des isotopes He et H
DLS-20 : spectromètre de masse quadripolaire à ultra-haute résolution
- Les filtres de masse à tige de 20 mm offrent des avantages significatifs pour l’analyse des mesures de rapports isotopiques :
- Pics plats à la résolution de masse unitaire
- Très haute sensibilité à l’abondance
- Résolution réglable de l’unité de masse à 0,005 AMU- FWHM
- La combinaison d’un filtre de masse de précision micronique à diamètre de pôle de 20 mm et de la RF haute puissance et haute fréquence à faible gamme de masse est idéale pour l’analyse des isotopes He et H
